観察試料の処理方法により、得られる情報が異なることがあります。はんだの接合部を断面から2次元で観察することがあるかと思いますが、3次元的に化合物がどのように成長しているか疑問に思われたことはありませんか。本資料ではCuパッドとはんだの接合部の観察例を紹介いたします。
断面観察
機械研磨により作製した試料にエッチング処理を施し、奥方向の化合物の状態を観察しました。
エッチング処理前
エッチング処理後
CuSn化合物は比較的細かい化合物で、パッド全面に形成されています。
一方、AgSn化合物はエッチング処理前の観察では棒状に見えますが、エッチング処理後の観察では板状の化合物ということがわかりました。
平面観察
バンプ上側から平面研磨後エッチング処理を施し、表面から化合物を観察しました。
CuSn化合物は銅パッド全面に形成されており、AgSn化合物はパッド内に散見されました。
観察目的や試料の組成により適切な処理方法があり、アイテスでは蓄積されたノウハウにより加工、前処理、観察手法や組み合わせを検討、ご提案いたします。
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